Εξαρτήματα χαλαζία

Ο χαλαζίας εξακολουθεί να χρησιμοποιείται παντού στην επεξεργασία ημιαγωγών. Δεν είναι κάτι καινούργιο, αλλά είναι αξιόπιστος και τα περισσότερα εργοστάσια είναι εξοικειωμένα με τη συμπεριφορά του. Εφόσον ελέγχεται η καθαρότητά του, λειτουργεί καλά στα στάδια διάχυσης, οξείδωσης και καθαρισμού.

Πολλά εξαρτήματα χαλαζία χρησιμοποιούνται σε συστήματα κλιβάνων ή σε εργαλεία PECVD. Η κύρια προσδοκία είναι η σταθερότητα — όχι απαραίτητα μεγάλη διάρκεια ζωής, αλλά προβλέψιμη απόδοση. Αυτό είναι συνήθως αρκετά καλό για πολλές τυπικές διεργασίες.

Φυσικά, ο χαλαζίας έχει τα όριά του. Μπορεί να φθαρεί πιο γρήγορα υπό ορισμένες συνθήκες, ειδικά σε σύγκριση με το SiC. Αλλά επειδή είναι σχετικά εύκολο να τον προμηθευτείς και δεν είναι πολύ ακριβό, οι άνθρωποι εξακολουθούν να τον χρησιμοποιούν αρκετά.