Μέρη πυριτίου

Τα εξαρτήματα από σιλικόνη χρησιμοποιούνται κυρίως επειδή ταιριάζουν με το υλικό της πλακέτας. Αυτό και μόνο τα καθιστά χρήσιμα, καθώς μειώνει την πιθανότητα εισαγωγής ανεπιθύμητων διαφορών στη διαδικασία. Είναι συνηθισμένα σε περιβάλλοντα χάραξης και εναπόθεσης. Η απόδοση είναι γενικά σταθερή, αν και η διάρκεια ζωής μπορεί να διαφέρει αρκετά ανάλογα με το πόσο σκληρή είναι η διαδικασία.

Με καλύτερη μηχανική κατεργασία και επιφανειακή επεξεργασία, αυτά τα εξαρτήματα έχουν βελτιωθεί με την πάροδο του χρόνου. Παρόλα αυτά, δεν επιλέγονται πάντα για αντοχή, αλλά περισσότερο για συμβατότητα και συνέπεια στη διαδικασία.