Επικάλυψη καρβιδίου του πυριτίου CVD (SiC).

Η επίστρωση CVD SiC είναι ουσιαστικά ένα στρώμα καρβιδίου του πυριτίου που εναποτίθεται σε γραφίτη και χρησιμοποιείται ευρέως σε εργαλεία επιταξίας όπου τόσο η θερμοκρασία όσο και η καθαριότητα έχουν σημασία. Σε πραγματικές γραμμές παραγωγής, θα τη δείτε συχνά σε συστήματα από AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, καθώς και σε ορισμένες πλατφόρμες που σχετίζονται με AMAT. Αυτό που την καθιστά χρήσιμη δεν είναι μόνο η αντοχή στη θερμοκρασία, αλλά η συνολική σταθερότητα κατά τη διάρκεια μεγάλων λειτουργιών. Υπό τυπικές συνθήκες επιταξίας - υδρογόνο, αμμωνία ή ακόμα και χλωριωμένα αέρια - η επίστρωση παραμένει σχετικά σταθερή και προστατεύει τον γραφίτη από κάτω. Αυτό βοηθά στη διατήρηση της πιο συνεπούς θερμικής πεδιακής κατάστασης και μειώνει την πιθανότητα εμφάνισης σωματιδίων κατά την ανάπτυξη.

Τις περισσότερες φορές, η επίστρωση εφαρμόζεται σε εξαρτήματα όπως υποδοχείς, φορείς πλακιδίων, δακτύλιοι γραφίτη ή ημισεληνοειδή εξαρτήματα. Όλα αυτά εμπλέκονται άμεσα στη θέρμανση ή την τοποθέτηση των πλακιδίων, επομένως οποιαδήποτε μικρή αστάθεια μπορεί να επηρεάσει την απόδοση. Για αυτόν τον λόγο, τα επικαλυμμένα εξαρτήματα συχνά αντιμετωπίζονται ως αναλώσιμα που πρέπει να είναι αξιόπιστα σε πολλαπλούς κύκλους, ειδικά σε παραγωγή 4 έως 12 ιντσών.