Κεραμικά SiC

Τα κεραμικά SiC χρησιμοποιούνται όλο και περισσότερο σε εξοπλισμό ημιαγωγών, κυρίως επειδή αντέχουν καλύτερα σε πιο δύσκολες συνθήκες. Όταν η θερμοκρασία ανέβει ή η διαδικασία γίνει πιο επιθετική, υλικά όπως ο χαλαζίας ή το πυρίτιο μπορούν να αρχίσουν να παρουσιάζουν όρια, και εκεί συνήθως έρχεται το SiC. Σε διεργασίες κλιβάνου όπως η οξείδωση ή η διάχυση, εξαρτήματα όπως οι βάρκες με πλακίδια ή τα πτερύγια που κατασκευάζονται από SiC τείνουν να διαρκούν περισσότερο. Διατηρούν το σχήμα τους και δεν προκαλούν μεγάλη μόλυνση, ακόμη και μετά από μεγάλες περιόδους λειτουργίας. Οι άνθρωποι συχνά αλλάζουν από τον χαλαζία για αυτόν τον λόγο, ειδικά όταν η συντήρηση γίνεται πολύ συχνή.

Για τη χάραξη, το SiC επιλέγεται συχνά απλώς επειδή επιβιώνει περισσότερο από το πλάσμα. Η διαφορά στη διάρκεια ζωής σε σύγκριση με τα εξαρτήματα πυριτίου είναι αισθητή σε πολλές διατάξεις, αν και εξακολουθεί να εξαρτάται από την ακριβή διαδικασία. Βοηθά επίσης λίγο στον έλεγχο των σωματιδίων, ο οποίος γίνεται πιο ευαίσθητος καθώς οι κόμβοι συρρικνώνονται. Θα δείτε επίσης το SiC να χρησιμοποιείται ως υποδοχείς σε MOCVD ή CVD. Σε αυτές τις περιπτώσεις, δεν έχει να κάνει τόσο με την «αντοχή» όσο με τη διατήρηση σταθερής συμπεριφοράς θερμοκρασίας. Εκτός από αυτό, εμφανίζεται σε εξαρτήματα θαλάμου όπως επενδύσεις ή κεφαλές ντους, και μερικές φορές και στον χειρισμό εξαρτημάτων.