Ⅰ. Ποια είναι τα σενάρια εφαρμογής κεραμικών προϊόντων καρβιδίου του πυριτίου;

Τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου (SiC) χρησιμοποιούνται ευρέως στα βασικά εξαρτήματα του βασικού εξοπλισμού διεργασιών στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών λόγω της εξαιρετικής αντοχής σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχής στη διάβρωση, υψηλής θερμικής αγωγιμότητας και χαμηλού συντελεστή θερμικής διαστολής. Τα παρακάτω είναι συγκεκριμένα σενάρια εφαρμογής τυπικών προϊόντων:

Σκάφος καρβιδίου πυριτίου

Λειτουργία:

Το SiC Boat χρησιμοποιείται συνήθως για τη μεταφορά γκοφρέτες (όπως γκοφρέτες πυριτίου ή γκοφρέτες καρβιδίου του πυριτίου) για μετάδοση και τοποθέτηση σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας.

Σενάρια εφαρμογών:

Πεδίο επεξεργασίας ημιαγωγών: Σε κλιβάνους διάχυσης και κλιβάνους οξείδωσης, το σκάφος πρέπει να λειτουργεί σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας άνω των 1000°C για να αποφευχθεί η παραμόρφωση ή η μόλυνση του πλακιδίου λόγω θερμικής καταπόνησης.

Φωτοβολταϊκή βιομηχανία: Στον εξοπλισμό PECVD (πλάσμα ενισχυμένη χημική εναπόθεση ατμών), το σκάφος χρησιμοποιείται για την υποστήριξη γκοφρετών πυριτίου για την εναπόθεση αντιανακλαστικής μεμβράνης νιτριδίου πυριτίου και πρέπει να αντέχει σε βομβαρδισμό πλάσματος υψηλής συχνότητας και περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας.

Σωλήνας κλιβάνου καρβιδίου του πυριτίου (SiC Reaction Tube)

Λειτουργία: Ως το βασικό συστατικό του θαλάμου αντίδρασης υψηλής θερμοκρασίας, παρέχει ένα ομοιόμορφο πεδίο θερμοκρασίας και ένα χημικά αδρανές περιβάλλον.

Σενάρια εφαρμογών:

Βιομηχανία ημιαγωγών: Στον κλίβανο οξείδωσης, ο σωλήνας του κλιβάνου πρέπει να παραμείνει σταθερός για μεγάλο χρονικό διάστημα σε περιβάλλον οξυγόνου ή υδρατμών για να αποφευχθεί η απελευθέρωση ακαθαρσιών λόγω οξείδωσης ή διάβρωσης.

Φωτοβολταϊκή βιομηχανία: Στον κλίβανο διάχυσης, ο σωλήνας του κλιβάνου χρησιμοποιείται για τη διαδικασία διάχυσης φωσφόρου (όπως η παρασκευή κυψελών PERC) και είναι απαραίτητο να αντισταθεί στη διάβρωση του όξινου αερίου στην ατμόσφαιρα POCl3.

Πρόβολο Κουπί και Στήριγμα Σκάφους

Λειτουργία: Το κουπί πρόβολου χρησιμοποιείται για την αυτόματη μεταφορά του κρυστάλλινου σκάφους και η θήκη βάρκας χρησιμοποιείται για τη στερέωση της θέσης του κρυστάλλινου σκάφους.

Σενάρια εφαρμογών:

Στη διαδικασία της γκοφρέτας ημιαγωγών, το κουπί προβόλου πρέπει να διατηρεί υψηλή μηχανική αντοχή κατά την ταχεία ανύψωση και κατέβασμα για να αποφευχθεί η θραύση λόγω θερμικής κόπωσης. η βάση του σκάφους πρέπει να διατηρεί τη γεωμετρική ακρίβεια σε υψηλή θερμοκρασία για να αποτρέψει την απόκλιση της γκοφρέτας.

Ⅱ. Ποιες είναι οι κατευθύνσεις εφαρμογής των υλικών καρβιδίου του πυριτίου στις βιομηχανίες φωτοβολταϊκών και ημιαγωγών;

Οι βασικές εφαρμογές των κεραμικών προϊόντων καρβιδίου του πυριτίου συγκεντρώνονται στους συνδέσμους διεργασιών δύο τύπων εξοπλισμού:

Δείκτες απόδοσης	Υλικό γραφίτη	Υλικό καρβιδίου του πυριτίου
Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας	Εύκολη οξείδωση (>500°C απαιτεί προστασία επίστρωσης)	Αντιοξειδωτική (μπορεί να αντέξει σε οξειδωτική ατμόσφαιρα 1600°C για μεγάλο χρονικό διάστημα)
Χημική αδράνεια	Εύκολο να διαβρωθεί από όξινα αέρια (όπως Cl2, POCl3)	Αντοχή στη διάβρωση σε οξέα και αλκάλια (συμπεριλαμβανομένων ισχυρών διαβρωτικών μέσων όπως HF, HNO3)
Κίνδυνος μόλυνσης από σωματίδια	Εύκολη δημιουργία ρύπανσης από σκόνη, με αποτέλεσμα ελαττώματα της γκοφρέτας	Πυκνή επιφάνεια, χωρίς κίνδυνο αποβολής σωματιδίων
Μηχανική δύναμη	Εύκολη παραμόρφωση σε υψηλή θερμοκρασία (υψηλός συντελεστής θερμικής διαστολής)	Υψηλή σκληρότητα (σκληρότητα Mohs 9.2), ισχυρή αντίσταση θερμικών κραδασμών
Θερμική αγωγιμότητα	Ανισοτροπία, υψηλός κίνδυνος τοπικής υπερθέρμανσης	Υψηλή θερμική αγωγιμότητα (120 W/m`K), ομοιόμορφο πεδίο θερμοκρασίας

Φωτοβολταϊκή βιομηχανία

Κλίβανος PECVD: χρησιμοποιείται για την εναπόθεση αντιανακλαστικών μεμβρανών (όπως το νιτρίδιο του πυριτίου). Τα μέρη καρβιδίου του πυριτίου πρέπει να αντιστέκονται στον βομβαρδισμό ιόντων που προκαλείται από εκκένωση λάμψης σε περιβάλλον πλάσματος 400~500°C, αποφεύγοντας ταυτόχρονα τη μόλυνση του φιλμ.

Κλίβανος διάχυσης: χρησιμοποιείται για διάχυση φωσφόρου/βορίου για σχηματισμό συνδέσμων PN. Οι σωλήνες κλιβάνου καρβιδίου του πυριτίου πρέπει να αντέχουν στη διάβρωση από αέρια POCl800 ή BBr1000 στους XNUMX~XNUMX°C και να διασφαλίζουν ομοιομορφία ντόπινγκ.

Βιομηχανία ημιαγωγών

Κλίβανος διάχυσης και κλίβανος οξείδωσης:

Κλίβανος διάχυσης: χρησιμοποιείται για τη διαδικασία ανόπτησης μετά την εμφύτευση ιόντων. Τα κρυστάλλινα σκάφη καρβιδίου του πυριτίου πρέπει να αποφεύγουν την απελευθέρωση μεταλλικών ακαθαρσιών (όπως Fe, Ni), διαφορετικά θα προκαλέσει αυξημένο ρεύμα διαρροής γκοφρέτας.

Κλίβανος οξείδωσης: αναπτύσσονται στρώματα διοξειδίου του πυριτίου σε περιβάλλον ξηρού οξυγόνου ή υγρού οξυγόνου. Οι σωλήνες κλιβάνου καρβιδίου του πυριτίου πρέπει να διατηρούν χαμηλή διαπερατότητα οξυγόνου σε υψηλή θερμοκρασία 1200°C για να αποτρέψουν το ανομοιόμορφο πάχος του στρώματος οξειδίου.

Ⅲ. Ποια είναι τα πλεονεκτήματα των υλικών καρβιδίου του πυριτίου έναντι του γραφίτη;

Αν και τα υλικά γραφίτη έχουν τα πλεονεκτήματα του χαμηλού κόστους και της εύκολης επεξεργασίας, είναι πολύ κατώτερα από το καρβίδιο του πυριτίου στις ακόλουθες βασικές ιδιότητες:

Ανάλυση συγκεκριμένης περίπτωσης:

Σύμφωνα με τις πραγματικές στατιστικές παραγωγής της Veteksemicon, στον κλίβανο διάχυσης ημιαγωγών, το σκάφος γραφίτη πρέπει να αντικαθίσταται κάθε 3 μήνες, ενώ το σκάφος καρβιδίου του πυριτίου μπορεί να διαρκέσει περισσότερο από 2 χρόνια και η απόδοση της γκοφρέτας αυξάνεται κατά 5%~10%.

Σύμφωνα με τα δεδομένα παραγωγής που παρέχονται από τη Semixlab, Στη διαδικασία φωτοβολταϊκών PECVD, το κουπί πρόβολου καρβιδίου του πυριτίου μπορεί να αυξήσει την απόδοση της μπαταρίας κατά 2%~5% λόγω της απουσίας σωματιδιακής ρύπανσης.

Ⅳ. γιατί να επιλέξετε το Semixlab;

Η Semixlab είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα που εστιάζει στην έρευνα επιφανειών γραφίτη και SiC για 20 χρόνια. Μετά από χρόνια τεχνικής έρευνας και ανάπτυξης, η διαδικασία επίστρωσης SiC μπορεί να επιτύχει καθαρότητα μεγαλύτερη από 99.98%, και μπορούμε επίσης να προσαρμόσουμε προϊόντα καρβιδίου του πυριτίου διαφορετικής καθαρότητας και τιμής σύμφωνα με τα σενάρια εφαρμογής σας. Εάν χρειάζεστε ένα προϊόν υψηλότερης καθαρότητας, όπως η άμεση επαφή με προϊόντα γκοφρέτας ημιαγωγών, μπορούμε να παρέχουμε επίστρωση CVD SiC, επίστρωση CVD TaC και άλλες διεργασίες στην επιφάνεια του υλικού υποστρώματος για να ικανοποιήσουμε τις διάφορες αυστηρές τεχνικές απαιτήσεις σας.