Κατασκευαστής υποδοχέα γραφίτη με επίστρωση CVD SiC για MOCVD και επιταξία

Επισκόπηση προϊόντος

Στην επιταξιακή ανάπτυξη, ο υποδοχέας έχει άμεση επίδραση στον τρόπο με τον οποίο θερμαίνονται ομοιόμορφα τα πλακίδια και στο πόσο συνεπές παραμένει το περιβάλλον ανάπτυξης σε μια διαδρομή. Οι υποδοχείς με επίστρωση CVD SiC της Semixlab είναι κατασκευασμένοι από πυκνό γραφίτη και επικαλυμμένοι με τη δική μας διαδικασία SiC. Τι προσφέρουν;

● Αξιοπρεπής θερμική αγωγιμότητα

● Ομοιόμορφα προφίλ θερμοκρασίας σε όλη την πλακέτα

● Στερεά αντοχή σε χημικές ουσίες διεργασίας

● Χαμηλή αποβολή σωματιδίων

● Εκτεταμένη διάρκεια ζωής εξαρτήματος σε θερμές ζώνες

Η επίστρωση CVD σχηματίζει ένα πυκνό περίβλημα SiC που προστατεύει τον γραφίτη από επιθετικά αέρια και ενισχύει τη συνολική ανθεκτικότητα του εξαρτήματος.

Βασικά χαρακτηριστικά

Υπόστρωμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας

Χρησιμοποιούμε ποιότητες γραφίτη που σας προσφέρουν:

● Χαμηλός αριθμός ακαθαρσιών

● Προβλέψιμη μηχανική απόκριση

● Επαρκής θερμική αγωγιμότητα

● Καλή ανοχή σε θερμικό σοκ

Αυτός ο γραφίτης αντέχει καλά κατά τη διάρκεια κύκλων γρήγορης θέρμανσης και ψύξης.

Ομοιόμορφη επίστρωση CVD SiC

Το στρώμα SiC παρέχει:

● Υψηλή σκληρότητα επιφάνειας

● Αξιοπρεπής προστασία από την οξείδωση

● Βελτιωμένη αντοχή στη διάβρωση

● Λιγότερος κίνδυνος μόλυνσης

Το πάχος της επίστρωσης και το φινίρισμα της επιφάνειας μπορούν να ποικίλλουν ανάλογα με τη συγκεκριμένη διαδικασία που χρησιμοποιείτε.

Άριστη θερμική ομοιομορφία

Η επίτευξη ενός σταθερού θερμικού πεδίου είναι μη διαπραγματεύσιμη για την επιταξία. Ο συνδυασμός της αγωγιμότητας του γραφίτη και των επιφανειακών ιδιοτήτων του SiC βοηθά στην επίτευξη:

● Ομοιόμορφες θερμοκρασίες γκοφρέτας

● Πιο σταθερή επεξεργασία

● Καλύτερη επαναληψιμότητα από εκτέλεση σε εκτέλεση

Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία

Αυτοί οι υποδοχείς είναι κατασκευασμένοι για να χειρίζονται δύσκολες συνθήκες ημιαγωγών:

● Υψηλές θερμοκρασίες λειτουργίας

● Συχνός θερμικός κύκλος

● Διατηρημένη σταθερότητα διεργασίας για μεγάλα χρονικά διαστήματα

Γιατί να επιλέξετε το Semixlab;

Προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης CVD

Έχουμε πρακτική εμπειρία με υλικά με βάση τον άνθρακα και επιστρώσεις CVD και μπορούμε να προσαρμόσουμε εξαρτήματα γραφίτη με επικάλυψη SiC στην συγκεκριμένη εφαρμογή ημιαγωγών σας.

Δυνατότητα Προσαρμοσμένης Παραγωγής

Αναλαμβάνουμε:

● Πρωτότυπα

● Μικρές διαδρομές

● Ογκώδης παραγωγή

● Προσαρμοσμένα μεγέθη και σχέδια

Ποιότητα

Κάθε εξάρτημα ελέγχεται για:

● Ακρίβεια διαστάσεων

● Κατάσταση επιφάνειας

● Ομοιομορφία επίστρωσης

● Αξιοπιστία διεργασίας