EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Θερμαντήρας γραφίτη με επίστρωση SiC για MOCVD
Ο θερμαντήρας Semixlab SiC Coated Graphite MOCVD είναι ένας θερμαινόμενος φορέας υψηλής απόδοσης σχεδιασμένος για διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών που χρησιμοποιεί χημική εναπόθεση ατμών (CVD) για να σχηματίσει μια ομοιόμορφη, πυκνή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC) στην επιφάνεια ενός υποστρώματος γραφίτη εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας.
Περιγραφή
Λεπτομέρειες
Ο θερμαντήρας MOCVD με επίστρωση SiC από γραφίτη συνδυάζει την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη με την υψηλή θερμοκρασία και την αντοχή στη διάβρωση των επιστρώσεων SiC και χρησιμοποιείται ευρέως σε εξοπλισμό εναπόθεσης μεταλλικών οργανικών ατμών (MOCVD) για να εξασφαλίσει σταθερότητα και υψηλή καθαρότητα στις διεργασίες ανάπτυξης επιταξίας πλακιδίων.
Χαρακτηριστικά προϊόντος θερμαντήρα MOCVD με επίστρωση SiC από γραφίτη
1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα και χημική σταθερότητα
Καθαρότητα ≥99.99995%: Ο θερμαντήρας γραφίτη μας παρασκευάζεται με χλωρίωση υψηλής θερμοκρασίας μέσω της διαδικασίας CVD, η οποία αποφεύγει αποτελεσματικά τη μόλυνση από μεταλλικές ακαθαρσίες και καλύπτει την απαίτηση για εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα στην κατασκευή ημιαγωγών.
Αντιχημική διάβρωση: Η πυκνή και υψηλή σκληρότητα της επίστρωσης SiC (σκληρότητα Vickers 2500-2800) μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση οξέων, αλκαλίων, αλάτων και οργανικών διαλυτών, γεγονός που παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού στο διαβρωτικό περιβάλλον αερίου.
2. Εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες
Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία: μπορεί να αντέξει έως και 3000°C σε αδρανή ατμόσφαιρα, σταθερή λειτουργία έως και 2200°C σε περιβάλλον κενού και 1600-1700°C σε οξειδωτικό περιβάλλον, το οποίο είναι κατάλληλο για τις ακραίες συνθήκες του θαλάμου αντίδρασης MOCVD.
Χαμηλός Συντελεστής Θερμικής Διαστολής (4.5 x 10-⁶K-¹): Αυτό το χαρακτηριστικό του θερμαντήρα γραφίτη MOCVD μειώνει αποτελεσματικά τις ρωγμές ή το ξεφλούδισμα της επικάλυψης λόγω μεταβολών της θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας τη δομική ακεραιότητα υπό μακροχρόνιο θερμικό κύκλο.
3. Βελτιστοποιημένη απόδοση θερμικής διαχείρισης
Υψηλή Θερμική Αγωγιμότητα (200-300 W/mK): Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του θερμαντήρα γραφίτη MOCVD καθορίζει ότι το προϊόν μπορεί να μεταφέρει γρήγορα και ομοιόμορφα θερμότητα για να επιτύχει συνεπή κατανομή θερμοκρασίας στην επιφάνεια του πλακιδίου (±1°C), βελτιώνοντας έτσι αποτελεσματικά την ομοιομορφία της επιταξιακής στρώσης.
Σχεδιασμός Πεδίου Ροής Αερίου σε Στρώση: Μετά από συνεχή τεχνολογική επανάληψη και αναβάθμιση, η ομαλότητα της επιφάνειας του θερμαντήρα MOCVD (Ra ≤ 0.8μm) και η βελτιστοποίηση της γεωμετρίας διασφαλίζουν ομοιόμορφη κατανομή των αντιδρώντων αερίων και μειώνουν την ανομοιομορφία της εναπόθεσης που προκαλείται από την αναταραχή.
Προδιαγραφές
Σύγκριση Τεχνικών Παραμέτρων και Πλεονεκτήματα
| Χαρακτηριστικά: | Θερμαντήρες με επικάλυψη SiC της Semixlab | Συμβατικοί θερμαντήρες γραφίτη |
| Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας (αδρανής) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Χημική Καθαρότητα | ≥% 99.99995 | ≤ 99.99 |
| Θερμική αγωγιμότητα | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Επικάλυψη πρόσφυσης | 415 MPa (κάμψη 4 σημείων) | 100-200 MPa |
| Τυπική διάρκεια ζωής (κύκλοι) | > 500 κύκλοι | 100-200 κύκλοι |
Ανταγωνιστικό Πλεονέκτημα
Γιατί Semixlab;
Προσαρμογή: Η Semixlab έχει δεσμευτεί να παρέχει στους πελάτες της εξατομικευμένα προϊόντα και τεχνικές υπηρεσίες. Υποστηρίζουμε την προσαρμογή μη τυποποιημένων μεγεθών (διάμετρος έως 360 mm) και πάχους επίστρωσης (20-500 μm) για την κάλυψη ενός ευρέος φάσματος αναγκών εξοπλισμού.
Παγκόσμια Πιστοποίηση: Ο θερμαντήρας γραφίτη με επίστρωση SiC είναι συμβατός με SEMI, πιστοποιημένος με ISO 9001 και τα προϊόντα μας εξάγονται κυρίως στην Ευρώπη και τις Ηνωμένες Πολιτείες, καθώς και στην Ιαπωνία και τη Νότια Κορέα, με σημαντικό πλεονέκτημα τιμής/απόδοσης.
Τεχνική συνέργεια: Η Semixlab διατηρεί στενή συνεργασία με κορυφαία ερευνητικά ιδρύματα στην Κίνα, χρησιμοποιώντας κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες επίστρωσης (όπως η διαδικασία SiC³ της CGT Carbon) για τη βελτιστοποίηση της πυκνότητας επίστρωσης και της αντοχής σε θερμικά σοκ.
