EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Λουτρό χαλαζία ημιαγωγών
Γρήγορη λεπτομέρεια:
1.Άλλα ονόματα: Δεξαμενή χαλαζία ημιαγωγών, λουτρό χαλαζία για ημιαγωγούς, δεξαμενή χαλαζία για ημιαγωγούς.
2.Εφαρμογή: Το Semiconductor Quartz Bath είναι ένα εξάρτημα υψηλής καθαρότητας, ανθεκτικό στη διάβρωση ειδικά σχεδιασμένο για καθαρισμό ακριβείας και χημική επεξεργασία στην κατασκευή ημιαγωγών. Σχεδιασμένο για συμβατότητα με το σύστημα WS-620C/ WS-820C/ WS-820L, αυτό το λουτρό χαλαζία λειτουργεί υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας (έως 175°C) και είναι βελτιστοποιημένο για χρήση με διαλύματα φωσφορικού οξέος (HXNUMXPOXNUMX), εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση σε κρίσιμες διεργασίες γκοφρέτα.
3. Βασικές παράμετροι:
Συντηγμένος χαλαζίας (>99.99% SiOXNUMX).
Εξαιρετική χημική αδράνεια στο H3PO4 (φωσφορικό οξύ) σε υψηλές θερμοκρασίες, αποτρέποντας την αποδόμηση ή τη δημιουργία σωματιδίων.
Αντέχει σε συνεχή λειτουργία στους 160°C και σε μέγιστες θερμοκρασίες 175°C, διατηρώντας τη δομική ακεραιότητα και τη σταθερότητα των διαστάσεων.
Περιγραφή
Το Semiconductor Quartz Bath είναι ένα υψηλής καθαρότητας, ανθεκτικό στη διάβρωση εξάρτημα ειδικά σχεδιασμένο για καθαρισμό ακριβείας και χημική επεξεργασία στην κατασκευή ημιαγωγών. Σχεδιασμένο για συμβατότητα με το σύστημα WS-620C/ WS-820C/ WS-820L, αυτό το λουτρό χαλαζία λειτουργεί υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας (έως 175°C) και είναι βελτιστοποιημένο για χρήση με διαλύματα φωσφορικού οξέος (HXNUMXPOXNUMX), εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση σε κρίσιμες διεργασίες γκοφρέτα.
Βασικά χαρακτηριστικά
Υλική υπεροχή
Χαλαζίας υψηλής καθαρότητας: Κατασκευάζεται από συνθετικό λιωμένο χαλαζία (>99.99% SiOXNUMX), εξασφαλίζοντας ελάχιστη μόλυνση και αντοχή σε θερμικό σοκ.
Οξύ αντοχή
Εξαιρετική χημική αδράνεια στο H3PO4 (φωσφορικό οξύ) σε υψηλές θερμοκρασίες, αποτρέποντας την αποδόμηση ή τη δημιουργία σωματιδίων.
Θερμική σταθερότητα
Αντέχει τη συνεχή λειτουργία στους 160°C και τις μέγιστες θερμοκρασίες 180°C, διατηρώντας τη δομική ακεραιότητα και τη σταθερότητα των διαστάσεων.
Οφέλη απόδοσης
Έλεγχος μόλυνσης: Το εξαιρετικά λείο φινίρισμα της επιφάνειας ελαχιστοποιεί την πρόσφυση των σωματιδίων, κρίσιμο για τις διεργασίες κόμβων ημιαγωγών κάτω του μικρού.
Μακροζωία: Η αντίσταση του χαλαζία στην όξινη διάβρωση και τη θερμική κόπωση παρατείνει τη διάρκεια ζωής, μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας και το κόστος συντήρησης.
Συνέπεια διαδικασίας: Η σταθερή θερμική αγωγιμότητα εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα καθαρισμού και την επαναληψιμότητα.
Γιατί να επιλέξετε το Semiconductor Quartz Bath της Semixlab;
Ποιότητα ποιότητας ημιαγωγού: Παράγεται σε περιβάλλον καθαρού δωματίου για να πληροί τα πρότυπα SEMI.
Προσαρμοσμένες λύσεις: Προσαρμοσμένα σχέδια διαθέσιμα για να ταιριάζουν σε συγκεκριμένες απαιτήσεις διαδικασίας.
Αξιοπιστία: Οι αυστηρές δοκιμές ποιότητας διασφαλίζουν τη συμμόρφωση με τις απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Προδιαγραφές
| Μηχανική ιδιότητα | Πυκνότητα (g/cm3) | 2.2 |
| Mohs σκληρότητα | 6-7 | |
| Αντοχή σε θλίψη (MPa) | 1100 | |
| Αντοχή σε εφελκυσμό (N/mm2) | 50 | |
| Αντοχή σε κάμψη (N/mm2) | 65 | |
| Αντοχή στρέψης (N/mm2) | 30 | |
| Συντελεστής Young (MPa) | 7.2x104 | |
| Αναλογία Poisson | 0.16 | |
| Θερμικές ιδιότητες | Συντελεστής θερμικής διαστολής (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Θερμική αγωγιμότητα (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Ειδική θερμότητα (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Σημείο μαλάκυνσης (℃) | 1700 | |
| Σημείο ανόπτησης (℃) | 1180 | |
| Σημείο παραμόρφωσης (℃) | 1080 | |
| Ηλεκτρική ιδιοκτησία | Ηλεκτρική ειδική αντίσταση (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Διηλεκτρική σταθερά (10 GHz) | 3.74 | |
| Διηλεκτρική απώλεια (10 GHz) | 0.0002 | |
| Διηλεκτρική αντοχή (V·m-1) | 3.7x107 |
Εφαρμογές
Καθαρισμός γκοφρέτας: Αφαίρεση φωτοανθεκτικών, υπολειμμάτων και ρύπων σε διαλύματα με βάση το H3PO4 μετά τη χάραξη ή τη λιθογραφία.
Διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας: Κατάλληλο για προηγμένα στάδια κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν επιθετικές χημικές ουσίες σε υψηλές θερμοκρασίες.
Συμβατότητα: Ιδανικό για το σύστημα WS-620C/ WS-820C/ WS-820L σε fabs που παράγουν συσκευές λογικής, μνήμης ή ισχύος.
