Βάρκα γκοφρέτας χαλαζία ημιαγωγών

Τα σκάφη Semixlab Semiconductor Quartz είναι βασικά εργαλεία ρουλεμάν σχεδιασμένα για διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως διάχυση, οξείδωση, καρδιαγγειακή νόσος (CVD), ανόπτηση κ.λπ., στην κατασκευή ημιαγωγών. Κατασκευασμένα από συνθετικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας με εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, χημική σταθερότητα και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, μπορούν να μεταφέρουν σταθερά πλακίδια σε σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών, διασφαλίζοντας τη συνοχή της διεργασίας και την απόδοση του προϊόντος.

Εφαρμοστέος εξοπλισμός: Συμβατό με όλα τα είδη οριζόντιου/κάθετου κλιβάνου διάχυσης (Οριζόντιος/Κάθετος κλίβανος διάχυσης), συστήματος LPCVD και εξοπλισμού ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP).

Διασφάλιση ποιότητας

Αυστηρός ποιοτικός έλεγχος: Ανίχνευση διαρροών με 100% φασματομετρία μάζας ηλίου (ρυθμός διαρροής <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Έκθεση καθαρότητας υλικού (δοκιμή ICP-MS) εκδίδεται για κάθε παρτίδα.

Πρότυπα πιστοποίησης: Σύμφωνα με τις προδιαγραφές SEMI F47, μέσω της πιστοποίησης συστήματος διαχείρισης ποιότητας ISO 9001:2015.

Διάρκεια ζωής: η μέση διάρκεια ζωής υπό κανονικές συνθήκες είναι μεγαλύτερη από 2 χρόνια (ανάλογα με τη συχνότητα της διεργασίας και τις συνθήκες θερμοκρασίας).

Γιατί να επιλέξετε το σκάφος μας από χαλαζία;

Προσαρμοσμένες υπηρεσίες: Προσαρμοσμένο μέγεθος και κατασκευή σύμφωνα με το μοντέλο εξοπλισμού (TEL, Kokusai, ASM, κ.λπ.) και τις απαιτήσεις της διαδικασίας.

Γρήγορη απόκριση: Ο τυπικός χρόνος παράδοσης είναι 3 εβδομάδες, ενώ οι επείγουσες παραγγελίες μπορούν να μειωθούν σε 10 εργάσιμες ημέρες.

Παγκόσμιο δίκτυο εξυπηρέτησης: Παροχή τεχνικών συμβουλών, καθοδήγησης εγκατάστασης και υποστήριξης συντήρησης μετά την πώληση. Προδιαγραφές υλικών.

Προδιαγραφή έργου

Σύνθεση υλικών Λιωμένος χαλαζίας

Καθαρότητα ≥99.99% SiO₂

Συμβατότητα μεγέθους γκοφρέτας 8 ", 12" (μπορεί να προσαρμοστεί 6" ή 18")

Θερμοκρασία λειτουργίας ≤1200°C (συνεχής) / 1300°C (μέγιστη)

Συντελεστής θερμικής διαστολής (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Τραχύτητα επιφάνειας (Ra) ≤0.2μm

Τυπική χωρητικότητα 25/50/100 δισκία

Εφαρμόσιμα αέρια διεργασίας O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, κ.λπ.

Οξείδωση/διάχυση σε υψηλή θερμοκρασία: πρόσμιξη πυριτίου (διάχυση φωσφόρου, βορίου), ανάπτυξη οξειδίου πύλης.

Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης: Πολυκρυσταλλικό πυρίτιο LPCVD, Εναπόθεση νιτριδίου του πυριτίου (Si₃N₄).

Διαδικασία ανόπτησης: ανόπτηση μετά από εμφύτευση ιόντων (RTA), κράμα μετάλλων.

Ημιαγωγός τρίτης γενιάς: διαδικασία επιταξίας με καρβίδιο του πυριτίου (SiC), νιτρίδιο του γαλλίου (GaN).

1. Χαρακτηριστικά υλικού

Χαλαζίας εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (>99.99% SiO₂): αποφεύγει τη ρύπανση από μεταλλικά ιόντα (Na+, K+, Fe³+, κ.λπ.) και πληροί τις απαιτήσεις καθαριότητας για προηγμένες διεργασίες (κόμβοι <5nm).

Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: συνεχής θερμοκρασία λειτουργίας 1200°C, στιγμιαία αντοχή σε θερμοκρασία 1300°C, χωρίς κίνδυνο παραμόρφωσης ή κρυστάλλωσης.

Χημική αδράνεια: Αντέχει σε αέρια διεργασίας όπως HCl, H₂, O₂, SiH₄ και όξινα/αλκαλικά περιβάλλοντα. Δεν διαβρώνει σε μακροχρόνια χρήση.

2. Σχεδιασμός ακριβείας

Βελτιστοποιήστε τη δομή:

Η ακρίβεια της απόστασης μεταξύ των σχισμών είναι ±0.05 mm, εξασφαλίζοντας ακριβή τοποθέτηση πλακιδίων (8/12 ίντσες) και αποτρέποντας γρατσουνιές ή μετατόπιση.

Σχεδιασμός ανθεκτικός σε θερμικούς κραδασμούς, προσαρμόζεται σε γρήγορη άνοδο και πτώση (ρυθμός θέρμανσης ≤20°C/min).

Χαμηλός σχηματισμός σωματιδίων: Η επιφάνεια είναι εξαιρετικά γυαλισμένη με ακρίβεια (Ra ≤0.2μm) για τη μείωση της προσκόλλησης των σωματιδίων και της πτώσης τους.

3. Διαφοροποιημένη διαμόρφωση

Χωρητικότητα Προαιρετική: Υποστήριξη 25 τεμαχίων, 50 τεμαχίων, 100 τεμαχίων και άλλων τυποποιημένων προδιαγραφών, μπορεί επίσης να προσαρμοστεί σε μη τυποποιημένο αριθμό υποδοχής.

Προσαρμογή τύπου: Ανοιχτό σκάφος, Κλειστό σκάφος ή ειδικός τύπος σκάφους (όπως σχεδιασμός καναλιού εκτροπής πυθμένα σκάφους).

Ε1: Μπορείτε να παρέχετε μη τυποποιημένο μέγεθος ή ειδικό σχεδιασμό;

A1: Η Semixlab υποστηρίζει προσαρμοσμένες υπηρεσίες, όπως προσαρμογή μεγέθους, ανώτατο όριο θερμοκρασίας (απαιτείται αναβάθμιση υλικού) ή τύπο διεπαφής. Επικοινωνήστε με την τεχνική ομάδα της Semixlab για συγκεκριμένες απαιτήσεις.

Ε2: Πόσος είναι ο χρόνος παράδοσης;

A2: Ο χρόνος παράδοσης για τα τυποποιημένα προϊόντα είναι 4-6 εβδομάδες και ο χρόνος σχεδιασμού και επαλήθευσης για τα προσαρμοσμένα προϊόντα είναι 2-3 εβδομάδες.

Ε3: Παρέχετε τεχνική υποστήριξη μετά την πώληση;

A3: Ναι, παρέχουμε δια βίου τεχνικές συμβουλές και υπηρεσίες αντιμετώπισης έκτακτης ανάγκης. Σε περίπτωση προβλημάτων εγκατάστασης ή χρήσης, μπορείτε να επικοινωνήσετε με την ομάδα υποστήριξης ανά πάσα στιγμή μέσω email ή τηλεφώνου.

Ε4: Πληροί το προϊόν τα πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών;

A4: Ναι, η διαδικασία παραγωγής συμμορφώνεται με τα πρότυπα SEMI και είναι πιστοποιημένη από το σύστημα διαχείρισης ποιότητας ISO 9001. Κάθε παρτίδα δοκιμάζεται για αεροστεγανότητα, αντοχή στη θερμοκρασία και καθαρότητα πριν φύγει από το εργοστάσιο.